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Wafer Cleaning
  • 采用二流体清洗技术实现纳米级别二流体清洗结构,可根据工艺需求调整DIW以及N₂流量
  • 智能工艺控制系统集成PLC+PC调控,手、自动切换,可记录刷洗晶圆质量
  • 强大的数据存储功能,机台LOG信息可存储并保留6个月,工艺recip可编辑存储至少100条
  • 干湿分离,采用旋干与灯照烘干复合方式干燥晶圆的复合干燥系统
  • 连续传送一千片无故障,加工破片率小于五千分之一
  • 机台视察可观察到晶圆行进的全路径
  • 机台任何一个零件都需要方便拆卸 ,以便后期维护
  • 具备晶圆及晶圆盒正确位置侦测及报警系统
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