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设备灵活,可支持多种Head
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设备工艺能力接近同尺寸产品的主流机型水准
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设备片间工艺一致性好
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4-6英寸 Si、TGV抛光及SIC、LT、GaAs等化合物表面抛光
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本设备配置的polisher head均为我公司自行研发设计与生产
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· 系统软件:可实现设备运行的实时监视,具备可视化、数据记录、防止误操作等功能,软 件可对机台硬件配置参数做保存及加载
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可快速地进行工艺配方编辑、修改、保存等,可自 动或手动运行工艺配方