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具备高精度分辨率,满足超光滑表面测量分析
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PSI / VSI/ 光谱共焦扫描/ 超景深测量等多种测量模式
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单次测量视场:500*350μm(可自动拼接)
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载台可调角度、位置、分辨率高
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简单、精确、快速、可重复性高
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聚焦定位激光辅助干涉条纹定位功能
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适用范围广、功能灵活多样
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自动生成测试与分析报告
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支持不同订制需求